書名 MEMS/NEMS : handbook techniques and applications / edited by Cornelius T. Leondes
出版項 New York : Springer, c2006
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稽核項 5 v. : ill. ; 25 cm
內容 v. 1. Design methods -- v. 2. Fabrication techniques -- v. 3. Manufacturing methods -- v. 4. Sensors and actuators -- v. 5. Medical applications and MOEMS
主題 Microelectromechanical systems -- Design and construction
Nanotechnology
其他作者 Leondes, Cornelius T
其他書名 MEMS/NEMS handbook
國際標準書號 0387245200 : EUR949.00
9780387245201